項(xiàng)目名稱 ：某單晶硅生產(chǎn)線氮氧化物尾氣凈化系統(tǒng)

項(xiàng)目地址 ：河北省張家口市

所屬行業(yè) ：電子半導(dǎo)體行業(yè)

處理規(guī)模 ：處理風(fēng)量15000m3/h

案例詳情 ：

本項(xiàng)目為某半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶清洗工序中反應(yīng)過程產(chǎn)生的氮氧化物及HF廢氣。本項(xiàng)目于2013年5月正式運(yùn)行，并于2013年7月通過驗(yàn)收。本系統(tǒng)廢氣主要成分為氮氧化物及HF廢氣，處理工藝前端采用高 效堿液吸收的工藝將尾氣中大部分氮氧化物及HF氣體中和凈化后，剩余少量的氮氧化物尾氣經(jīng)氣液分離器及氮氧化物專用吸附工藝凈化達(dá)標(biāo)，經(jīng)處理后的廢氣達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。