項目名稱 ：某多晶硅生產(chǎn)線氮氧化物尾氣凈化系統(tǒng)

項目地址 ：山西省晉城市

所屬行業(yè) ：多晶硅行業(yè)

處理規(guī)模 ：處理風(fēng)量25000m3/h

案例詳情 ：

本項目為某多晶硅生產(chǎn)企業(yè)在多晶硅清洗工序中反應(yīng)過程產(chǎn)生的氮氧化物及HF廢氣。本項目于2014年8月正式運(yùn)行，并于2014年10月通過驗收。本系統(tǒng)廢氣主要成分為氮氧化物廢氣，處理工藝前端采用高 效堿液吸收的工藝將尾氣中大部分氮氧化物及HF氣體中和凈化后，剩余少量的氮氧化物尾氣經(jīng)氣液分離器及氮氧化物專用吸附工藝凈化達(dá)標(biāo)，經(jīng)處理后的廢氣達(dá)到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》。